ASML sta spedendo un secondo sistema di litografia High-NA EUV a un cliente sconosciuto – .

ASMLil produttore dei macchinari litografici più avanzati al mondo per la produzione di semiconduttori ha iniziato a spedire il suo secondo sistema di litografia High-NA EUV ad un cliente non specificato, ma apparentemente diverso da Intel.

“Per quanto riguarda High-NA, o 0,55 NA EUV, abbiamo spedito il nostro primo sistema a un cliente ed è attualmente in fase di installazione”, ha affermato Christophe Fouquet, direttore commerciale di ASML, riferendosi all’azienda di Santa Clara.

“Abbiamo iniziato a spedire il secondo sistema questo mese e anche la sua installazione sta per iniziare“. Intel ha ricevuto il costoso e complesso Twinscan EXE:5000 alla fine del 2023: l’obiettivo di Intel è utilizzare una versione raffinata di quel sistema, chiamata 5200, da produrre in pochi anni con il processo produttivo 14A e successivi. Il sistema in fase di assemblaggio presso Fab D1X a Hillsboro, Oregon.

High-NA (NA sta per Numerical Aperture) si riferisce a macchinari litografici EUV con elevata apertura numerica, dove sono presenti lenti con apertura numerica pari a 0,55 in grado di una risoluzione di 8 nm, un netto miglioramento rispetto ai 13 nm delle attuali macchine EUV. I sistemi EUV High-NA dovrebbero quindi consentire evitare il doppio schemaridurre la complessità nella realizzazione dei chip con risvolti positivi su costi e rese.

“Durante la conferenza di settore SPIE di febbraio, abbiamo annunciato la prima luce sul nostro sistema High-NA situato nel nostro laboratorio congiunto ASML-Imec High-NA a Veldhoven”, ha affermato Fouquet. “Da abbiamo ottenuto le prime immagini, con una nuova risoluzione record inferiore a 10 nm e prevediamo di iniziare a esporre i wafer nelle prossime settimane. Tutti i clienti High-NA utilizzeranno questo sistema per ottenere un accesso anticipato allo sviluppo del processo”.

I taiwanesi TSMC e i giapponesi Rapido Non sembrano avere alcuna intenzione di adottare la litografia High-NA EUV per la produzione di massa in tempi brevi, o almeno non nei tempi di Intel, ma prima o poi dovranno farlo perché semplifica alcune fasi della produzione dei wafer. Non è quindi da escludere che per scopi di ricerca il secondo sistema non sia andato a una di queste due società o, non dimentichiamolo, a SAMSUNG.

ASML ottimista sul futuro della litografia EUV ad alta NA, tanto che si sta esplorando l’utilizzo di ottiche di proiezione con apertura numerica maggiore di 0,7. Ogni sistema costa circa 350-400 milioni di dollari.

“Interesse dei clienti per il nostro laboratorio di sistemi [High-NA] alto poiché questo sistema aiuterà sia i nostri clienti produttori di chip logici che di memoria a prepararsi per l’inclusione di High-NA nelle loro tabelle di marcia”, ha affermato Fouquet. “Rispetto allo 0,33 NA, il sistema 0,55 NA fornisce una risoluzione più elevata che consente un aumento di quasi 3 volte della densità dei transistorcon un throughput simile, supportando processi logici sub-2nm e processi DRAM sub-10nm.” ASML ha ordini per macchinari per litografia High-NA EUV che al momento sono ordinati tra le 10 e le 20 unità.

Intanto l’azienda continua a farlo aggiornare e migliorare i macchinari litografici EUVcioè con un’apertura numerica pari a 0,33, tanto da averlo annunciato la nuova NXE:3800E è stata spedita al primo clientequesto trimestre e sta per entrare in produzione.

ASML indica una capacità di produzione di 220 wafer all’ora per NXE:3800E, rispetto alle soluzioni precedenti che si fermavano a 160 wafer l’ora: si tratta di un aumento del 37,5%. All’inizio, le macchine litografiche EUV potevano produrre 120 wafer all’ora o meno. È interessante notare che ASML prevede una produzione di 220 wafer all’ora per le soluzioni iniziali EUV High-NA, che consentiranno ai clienti di recuperare i costi più rapidamente.

In concomitanza con questi annunci, ASML ha comunicato anche i dati finanziari del primo trimestre: il fatturato è di poco inferiore ai 5,3 miliardi di euro, nettamente inferiore a quello dello stesso periodo dello scorso anno, quando ammontava a 6,75 miliardi di euro. In calo anche gli utili, passati da 1,96 a 1,22 miliardi di euro. Tuttavia, i nuovi ordini sono rimasti allo stesso livello dell’anno precedente, con un valore totale di 3,6 miliardi di euro. Le prospettive per i prossimi mesi restano simili: nel secondo trimestre l’azienda vuole raggiungere un fatturato di circa 6 miliardi di euro.